A thin-film multilayer structure on top of a substrate has three polymer
layers having adapted refractive indices in which optical waveguides are
formed. Signal conducting metal layers are located at these three
thin-film layers. The metal is etched away at the waveguide cores so that
ordinary optical waveguides of channel-type are obtained having a
refractive index difference between the core and the cladding material.
Holes are etched in the polymer layers in order to form electrical vias.
Mirrors can be formed by laser ablating to provide connection of an
optical waveguide to some component and to provide optical vias, in the
case where another similar set of three polymer layers are applied on top
of the layers shown. Hence, electrical and optical interconnections can be
integrated in the multilayer structure using a minimum number of polymer
layers and the optical waveguides can be constructed to have a low loss.
Eine mehrschichtige Dünnfilmstruktur auf ein Substrat hat drei Polymer-Plastik Schichten, die Brechungskoeffizienten angepaßt werden, in denen optische Wellenleiter gebildet werden. Signalbefinden sich leitmetallschichten an diesen drei Dünnfilmschichten. Das Metall wird weg an den Wellenleiterkernen geätzt, damit gewöhnliche optische Wellenleiter der Führung-Art erhalten werden, einen Brechungsindex Unterschied zwischen dem Kern und dem Umhüllungmaterial habend. Bohrungen werden im Polymer-Plastik überlagert, um elektrische vias zu bilden geätzt. Spiegel können durch Laser gebildet werden, der, um Anschluß eines optischen Wellenleiters zu irgendeinem Bestandteil zur Verfügung zu stellen entfernt und optische vias, im Fall zur Verfügung zu stellen, in dem ein anderer ähnlicher Satz von drei Polymer-Plastik Schichten auf die gezeigten Schichten angewendet werden. Folglich können elektrische und optische Verbindungen in der mehrschichtigen Struktur mit einer Mindestzahl der Polymer-Plastik Schichten integriert werden und die optischen Wellenleiter können konstruiert werden, um einen niedrigen Verlust zu haben.
