Systems and methods are described for fabrication of highly textured lithium cobalt oxide films by rapid thermal annealing. A method of forming a lithium cobalt oxide film includes depositing a film of lithium cobalt oxide on a substrate; rapidly heating the film of lithium cobalt oxide to a target temperature; and maintaining the film of lithium cobalt oxide at the target temperature for a target annealing time of at most, approximately 60 minutes. The systems and methods provide advantages because they require less time to implement and are, therefore less costly than previous techniques.

Systeme und Methoden werden für Herstellung der in hohem Grade Texturlithiumkobalt-Oxidfilme durch schnelles thermisches Ausglühen beschrieben. Eine Methode der Formung eines Lithiumkobalt-Oxidfilmes schließt das Niederlegen eines Filmes des Lithiumkobaltoxids auf einem Substrat ein; den Film des Lithiumkobaltoxids zu einer Zieltemperatur schnell heizen; und den Film des Lithiumkobaltoxids bei der Zieltemperatur während einer Zielglühdauer von höchstens beibehalten, ungefähr 60 Minuten. Die Systeme und die Methoden liefern die Vorteile, weil sie weniger Zeit erfordern einzuführen und sind, folglich weniger teuer als vorhergehende Techniken.