There is described a hybrid furnace comprising a microwave source, and an enclosure for the confinement of both microwave and RF energy for containing an object to be heated. The microwave source is coupled to the enclosure. The furnace further includes an RF source coupled to the enclosure, and a controller for controlling the quantity of microwave energy and RF energy to which the object to be heated is exposed. There is also described a method of operating a furnace of the above type to the heat an object. The microwave source is actuated to induce an electric field to heat the object and the RF source is controlled to selectively provide an oscillating electric field within the object to be heated at a location at a temperature where the field strength of the microwave-induced electric field falls below a predetermined threshold value.

È descritto una fornace ibrida che contengono una fonte di microonda e una recinzione per la relegazione sia della microonda che dell'energia di rf per contenere un oggetto da riscaldare. La fonte di microonda è accoppiata alla recinzione. La fornace ulteriore include una fonte di rf accoppiata alla recinzione e un regolatore per il controllo della quantità di energia di microonda e di energia di rf a cui l'oggetto da riscaldare è esposto. Inoltre è descritto un metodo di fare funzionare una fornace di suddetto tipo al calore un oggetto. La fonte di microonda è attuata per indurre un campo elettrico per riscaldare l'oggetto e la fonte di rf è controllata per fornire selettivamente un campo elettrico oscillante all'interno dell'oggetto da riscaldare ad una posizione ad una temperatura dove la resistenza del campo del campo elettrico indotto da microonde cade sotto un valore di soglia predeterminato.

 
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< Method and system for automatically caching dynamic content based on a cacheability determination

> Electrostatic holding apparatus having insulating layer with enables easy attachment and detachment of semiconductor object

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