A micro-electromechanical optical inertial sensing device comprises a CMOS chip (3), comprising at least one integrated photodiode (6) and analog electronics; an elastically suspended proof mass (1); and a light source (4). A light beam from the light source casts a partial shadow of the proof mass over the photodiode when the proof mass is at rest. When subjected to an inertial movement, the proof mass swings causing the partial shadow to shift and modulate the illumination of the photodiode. An output current signal from the photodiode is processed by the analog electronics to generate measurement results.

Un dispositivo de detección de inercia óptico micro-electromeca'nico abarca una viruta del Cmos (3), abarcando por lo menos un fotodiodo integrado (6) y electrónica análoga; una masa elástico suspendida de la prueba (1); y una fuente de luz (4). Un rayo de luz de la fuente de luz echa una sombra parcial de la masa de la prueba sobre el fotodiodo cuando la masa de la prueba está en el resto. Cuando está sujetada a un movimiento de inercia, la masa de la prueba hace pivotar haciendo la sombra parcial cambiar de puesto y modular la iluminación del fotodiodo. Una señal de la corriente de salida del fotodiodo es procesada por la electrónica análoga para generar resultados de la medida.