Moving a panel on a microelectromechanical system by generating a magnetic
force that acts on the panel is disclosed. The panel is formed on, or
coupled to, a substrate so as to be able to move between first and second
positions. The panel includes an electrically conductive region, such as a
metallic ring or sheet, or a doped polysilicon layer. An electrical coil
is also located on the substrate and coupled to a power source that can
generate time-varying current. When a time-varying current is conducted
through the coil, a magnetic flux is generated in the coil that induces an
electromotive force (emf) in the panel that, in turn, generates a magnetic
flux having a direction that is opposite the magnetic flux in the coil.
The opposing magnetic fluxes create a repulsive magnetic force that urges
the panel to move away from the coil. A flat spring is provided to hold
the panel in a desired position and provide a drag force on the panel as
it moves.
Het bewegen van een paneel op een microelectromechanical systeem door een magnetische kracht te produceren die op het paneel handelt wordt onthuld. Het paneel wordt gevormd, of aan, een substraat om zich gekoppeld kunnen bewegen tussen eerst en tweede posities. Het paneel omvat een elektrisch geleidend gebied, zoals een metaalring of een blad, of een gesmeerde polysilicon laag. Een elektrorol wordt ook gevestigd op het substraat en aan een krachtbron gekoppeld die tijdsafhankelijke stroom kan produceren. Wanneer een tijdsafhankelijke stroom door de rol wordt geleid, wordt een magnetische stroom geproduceerd in de rol die een elektromotorische kracht (emf) in het paneel veroorzaakt dat, beurtelings, een magnetische stroom produceert die een richting heeft die tegenover de magnetische stroom in de rol is. De verzettende magnetische stromen leiden tot een repulsive magnetische kracht die het paneel om zich vanaf de rol aanspoort te bewegen. De vlakke lente wordt verstrekt om het paneel in een gewenste positie te houden en een belemmeringskracht op het paneel te verstrekken aangezien het zich beweegt.