A torsional micro-mechanical mirror system includes a mirror assembly rotatably supported by a torsional mirror support assembly for rotational movement over and within a cavity in a base. The cavity is sized sufficiently to allow unimpeded rotation of the mirror assembly. The mirror assembly includes a support structure for supporting a reflective layer. The support structure is coplanar with and formed from the same wafer as the base. The torsional mirror support assembly includes at least one torsion spring formed of an electroplated metal. An actuator assembly is operative to apply a driving force to torsionally drive the torsional mirror support assembly, whereby torsional motion of the torsional mirror support assembly causes rotational motion of the mirror assembly. In another embodiment, a magnetic actuator assembly is provided to drive the mirror assembly. Other actuator assemblies are operative to push on the mirror assembly or provide electrodes spaced across the gap between the mirror assembly and the base. A process for fabricating the torsional micro-mirror is provided. The torsional micro-mirror is useful in various applications such as in biaxial scanner or video display systems.

Een gewrongen micro-mechanical spiegelsysteem omvat een spiegelassemblage die draaibaar door een gewrongen assemblage van de spiegelsteun voor rotatiebeweging over en binnen een holte wordt gesteund in een basis. De holte wordt gerangschikt voldoende om unimpeded omwenteling van de spiegelassemblage toe te staan. De spiegelassemblage omvat een steunstructuur voor het steunen van een weerspiegelende laag. De steunstructuur is coplanair met en gevormd van het zelfde wafeltje zoals de basis. De gewrongen assemblage van de spiegelsteun omvat de minstens één torsielente die van een gegalvaniseerd metaal wordt gevormd. Een actuator assemblage is doeltreffend om een stuwende kracht toe te passen om de gewrongen assemblage van de spiegelsteun torsionally te drijven, waardoor de gewrongen motie van de gewrongen assemblage van de spiegelsteun rotatiemotie van de spiegelassemblage veroorzaakt. In een andere belichaming, wordt een magnetische actuator assemblage verstrekt om de spiegelassemblage te drijven. Andere actuator assemblage is doeltreffend om bij de spiegelassemblage te duwen of elektroden te verstrekken die over het hiaat tussen de spiegelassemblage en de basis uit elkaar worden geplaatst. Een proces om de gewrongen micro-spiegel wordt te vervaardigen verstrekt. De gewrongen micro-spiegel is nuttig in diverse toepassingen zoals in tweeassige scanner of videovertoningssystemen.