A method for forming a crystal layer including the steps of (1) supplying first impurity atoms onto a surface of a crystal substrate to form a surfactant layer adsorbed on the surface, (2) supplying nucleus atoms which bond with the first impurity atoms, (3) repeating step (2) until second impurity atoms are supplied in step (4), and (4) supplying second impurity atoms which bond with the first impurity atoms and the nucleus atoms to epitaxially grow a crystal layer including the nucleus atoms as a crystal nucleus material doped with the first and second impurity atoms. A co-dopant having a three-atom composite formed by supplying the atoms on the surface of the crystal enables smooth doping thereof to produce the crystal having the high density dopant or a low resistance.

Een methode om een kristallaag met inbegrip van de stappen te vormen van (1) het leveren van eerste onzuiverheidsatomen op een oppervlakte van een kristalsubstraat om een capillair-actieve stoflaag te vormen die op de oppervlakte wordt geadsorbeerd, (2) leverend kernatomen die met de eerste onzuiverheidsatomen plakken, (3) herhalend stap (2) tot de tweede onzuiverheidsatomen in stap (4) worden geleverd, en (4) leverend tweede onzuiverheidsatomen die met de eerste onzuiverheidsatomen en de kernatomen plakken om een kristallaag met inbegrip van de kernatomen als materiaal epitaxially te kweken van de kristalkern dat met de eerste en tweede onzuiverheidsatomen wordt gesmeerd. Een mede-additief dat drie-atoom een samenstelling heeft die door de atomen op de oppervlakte van het kristal wordt gevormd te leveren laat het vlotte smeren toe daarvan om het kristal te produceren dat het high-density additief of een lage weerstand heeft.