The application discloses a number of unique sintered quartz glass products
together with new silica compositions and processes for making and using
such products. Nitrided clear and opaque nitrided quartz products are
disclosed having incredible physical properties resulting from the
incorporation of very small, but effective, amounts (e.g., 25 ppm or more)
of chemically bound nitrogen. Opaque quartz glass heat shields with
remarkable resistance to transmission of infrared radiation are disclosed
which can have a high bubble population density, such as 80 to 120 per
mm.sup.2. These heat shields make possible remarkable improvement in the
performance of tube furnaces and other reactors used in processing silicon
wafers and other electronic components.
A aplicação divulga um número de produtos de vidro sintered originais de quartzo junto com composições e processos novos do silicone para fazer e usar tais produtos. O espaço livre de Nitrided e opaco nitrided produtos de quartzo são divulgados tendo propriedades físicas incredible resultando da incorporação de muito pequeno, mas eficaz, quantidades (por exemplo, 25 ppm ou mais) de nitrogênio quimicamente limitado. Os protetores de calor de vidro de quartzo opaco com resistência notável à transmissão da radiação infravermelha são divulgados que pode ter uma densidade de população elevada da bolha, tal como 80 a 120 por mm.sup.2. Estes protetores de calor fazem a melhoria notável possível no desempenho das fornalhas de tubo e dos outros reatores usados em processar wafers de silicone e outros componentes eletrônicos.