A method is supported for aligning the height of a polymer waveguide to the height of a core layer of a semiconductor element in an optical module composed so as to mount the semiconductor element on its polymer waveguide substrate. In order to achieve the method, at first a waveguide is formed on the silicon substrate coated with an oxide film using a polymer whose refractive index is larger than that of the oxide film. The waveguide consists of a lower cladding layer, a core layer, and an upper cladding layer. The lower cladding layer is formed to be thinner than the conventional one and the height of the core layer is set to 5 to 10 .mu.m. In this way, it is possible to fabricate an optical module in less process steps and at a lower cost than the conventional one.

Un metodo contributo ad allineare l'altezza di una guida di onde del polimero all'altezza di uno strato di nucleo di un elemento a semiconduttore in un modulo ottico composto in modo da montare l'elemento a semiconduttore sul relativo substrato della guida di onde del polimero. Per realizzare il metodo, inizialmente una guida di onde è formato sul substrato del silicone ricoperto di pellicola dell'ossido usando un polimero di cui l'indice di rifrazione è più grande di quello della pellicola dell'ossido. La guida di onde consiste di uno strato più basso del rivestimento, di uno strato di nucleo e di uno strato superiore del rivestimento. Lo strato più basso del rivestimento è formato per essere più sottile di quello convenzionale e l'altezza dello strato di nucleo sono regolati a mu.m 5 - 10. In questo modo, è possibile fabbricare un modulo ottico a meno punti di processo e ad un basso costo che quello convenzionale.