The present invention provides systems, methods, and standards for calibrating nano-measuring devices. Calibration standards of the invention include carbon nanotubes and methods of the invention involve scanning carbon nanotubes using nano-scale measuring devices. The widths of the carbon nanotube calibration standards are known with a high degree of accuracy. The invention allows calibration of a wide variety of nano-scale measuring devices, taking into account many, and in some cases all, of the systematic errors that may affect a nano-scale measurement. The invention may be used to accurately calibrate line width, line height, and trench width measurements and may be used to precisely characterize both scanning probe microscope tips and electron microscope beams.

De onderhavige uitvinding verstrekt systemen, methodes, en normen voor het kalibreren van nano-meet apparaten. De normen van de kaliberbepaling van de uitvinding omvatten koolstof nanotubes en de methodes van de uitvinding houden aftastenkoolstof in nanotubes gebruikend nano-schaal meetinstrumenten. De breedten van de normen van de koolstof nanotube kaliberbepaling zijn gekend met een hoge graad van nauwkeurigheid. De uitvinding staat kaliberbepaling van een grote verscheidenheid van nano-schaal meetinstrumenten toe, rekening houdend met velen, en in sommige gevallen allen, van de systematische fouten die een nano-schaalmeting kunnen beïnvloeden. De uitvinding kan worden gebruikt om lijnbreedte, lijnhoogte, en de metingen van de geulbreedte nauwkeurig te kalibreren en kan worden gebruikt om zowel de microscoopuiteinden van de aftastensonde als elektronenmicroscoopstralen precies te kenmerken.