A spatial light modulator includes an upper optically transmissive substrate held above a lower substrate containing addressing circuitry. One or more electrostatically deflectable elements are suspended by hinges from the upper substrate. In operation, individual mirrors are selectively deflected and serve to spatially modulate light that is incident to, and then reflected back through, the upper substrate. Motion stops may be attached to the reflective deflectable elements so that the mirror does not snap to the bottom substrate. Instead, the motion stop rests against the upper substrate thus limiting the deflection angle of the reflective deflectable elements.

Spatial светлый модулятор/демодулятор вклюает субстрат верхушкы, котор оптически transmissive держат над более низким субстратом содержа адресующ сети. One or more электростатически deflectable элементы suspended шарнирами от верхнего субстрата. In operation, индивидуальные зеркала селективно отклонены и подача spatially для того чтобы модулировать свет которому случай к, и после этого отражены назад до конца, верхний субстрат. Стопы движения могут быть прикреплены к отражательным deflectable элементам так, что зеркало не щелкнет к нижнему субстрату. Вместо, стоп движения отдыхает против верхнего субстрата таким образом ограничивая угол отклонения отражательных deflectable элементов.