Spiral, sparse spiral, substantially spiral or substantially sparse spiral
transducer arrays comprising capacitive micromachined ultrasonic
transducer elements disposed on a silicon substrate, and ultrasound
imaging systems employing same. The transducer elements are respectively
coupled to a plurality of amplifiers. Imager electronics are coupled to
each of the amplifiers and drives the transducer elements and/or generates
an output of the spiral transducer array. The amplifiers may be located in
the silicon substrate containing the transducer elements, or on a separate
substrate that is interconnected to the substrate containing the
transducer elements using bumps, for example. Electrical interconnection
to the transducer elements may readily be achieved without interfering
with the acoustic output of the transducer elements.
Η σπειροειδής, αραιή σπειροειδής, ουσιαστικά σπειροειδής ή ουσιαστικά αραιή σπειροειδής συμπερίληψη σειρών μετατροπέων χωρητική τα υπερηχητικά στοιχεία μετατροπέων που διατέθηκαν σε ένα υπόστρωμα πυριτίου, και τα συστήματα απεικόνισης υπερήχου υιοθετώντας το ίδιο πράγμα. Τα στοιχεία μετατροπέων συνδέονται αντίστοιχα με μια πολλαπλότητα των ενισχυτών. Imager η ηλεκτρονική συνδέεται με κάθε έναν από τους ενισχυτές και τις κινήσεις τα στοιχεία μετατροπέων ή/και παράγει μια παραγωγή της σπειροειδούς σειράς μετατροπέων. Οι ενισχυτές μπορούν να βρεθούν στο υπόστρωμα πυριτίου που περιλαμβάνει τα στοιχεία μετατροπέων, ή σε ένα χωριστό υπόστρωμα που διασυνδέεται στο υπόστρωμα που περιλαμβάνει τα στοιχεία μετατροπέων χρησιμοποιώντας τις προσκρούσεις, παραδείγματος χάριν. Η ηλεκτρική διασύνδεση στα στοιχεία μετατροπέων μπορεί εύκολα να επιτευχθεί χωρίς παρεμπόδιση την ακουστική παραγωγή των στοιχείων μετατροπέων.