A TEOS trap for controlling TEOS polymerization from reaction furnace effluent in a vacuum pump line a SiO.sub.2 CVD process includes a molecular species-selective flow impeding medium that adsorbs and retains TEOS and water molecules from the effluent long enough to consume substantially all the water molecules in TEOS hydrolysis reactions while allowing non-hydrolyzed TEOS, ethylene, and other gaseous byproducts to pass through the trap and retaining solid and liquid phase SiO.sub.2 -rich TEOS polymers formed by the hydrolysis reactions in the trap for subsequent removal and disposal. The molecular species-selective flow impeding medium has a plurality of adsorption surfaces to make a surface density that performs the TEOS and water flow impeding function and solid and liquid phase TEOS polymer trapping function.

Una presa di TEOS per il controllo della polimerizzazione di TEOS dall'effluente della fornace di reazione in una linea del pulsometro un processo di CVD SiO.sub.2 include un flusso specie-selettivo molecolare che impedisce il mezzo che adsorbisce e che mantiene TEOS e le molecole di acqua dall'effluente abbastanza a lungo per consumare sostanzialmente tutte le molecole di acqua nelle reazioni di idrolisi di TEOS mentre permette che TEOS non-idrolizzato, l'etilene ed altri sottoprodotti gassosi passino through la presa e mantenendo la fase solida e liquida SiO.sub.2 - polimeri ricchi di TEOS costituiti dalle reazioni di idrolisi nella presa per rimozione ed eliminazione successive. Il flusso specie-selettivo molecolare che impedisce il mezzo ha una pluralità di superfici di adsorbimento per fare una densità di superficie che realizza il flusso dell'acqua e di TEOS che impedisce la funzione e la funzione solida e liquida dell'intrappolamento del polimero di fase TEOS.