A micro electro-mechanical systems device having variable capacitance is controllable over the full dynamic range and not subject to the "snap effect" common in the prior art. The device features an electrostatic driver (120) having a driver capacitor of fixed capacitance (121) in series with a second driver capacitor of variable capacitance (126). A MEMS variable capacitor (130) is controlled by applying an actuation voltage potential to the electrostatic driver (120). The electrostatic driver (120) and MEMS variable capacitor (130) are integrated in a single, monolithic device.

Um micro dispositivo eletromecânico dos sistemas que tem a capacidade variável é controllable sobre a escala dinâmica e não o assunto cheios "à terra comum do efeito snap" na arte prévia. O dispositivo caracteriza um excitador eletrostático (120) que tem um capacitor do excitador da capacidade fixa (121) em série com um segundo capacitor do excitador da capacidade variável (126). Um capacitor variável de MEMS (130) é controlado aplicando um potencial da tensão da atuação ao excitador eletrostático (120). O excitador eletrostático (120) e o capacitor variável de MEMS (130) são integrados em um único, dispositivo monolítico.