An apparatus for simultaneously depositing gradients components of two or more target materials onto a substrate is disclosed. The apparatus comprises a first target material source that directs a first target material towards the substrate and a second target material source that directs a second material towards the substrate. The apparatus further comprises a gradient shutter system that blocks a first predetermined amount of the first target material and a second predetermined amount of the second target material directed towards the substrate in order to generate gradients of the first and second target materials on the substrate. The gradients of the first and second target materials being simultaneously deposited onto the substrate to form a homogenous resulting material. A method for simultaneously depositing gradients of two or more target material onto a substrate is also disclosed.

Μια συσκευή για ταυτόχρονα τα τμήματα κλίσεων δύο ή περισσότερων υλικών στόχων επάνω σε ένα υπόστρωμα αποκαλύπτεται. Η συσκευή περιλαμβάνει μια πρώτη υλική πηγή στόχων που κατευθύνει ένα πρώτο υλικό στόχων προς το υπόστρωμα και μια υλική πηγή δεύτερων στόχων που κατευθύνει ένα δεύτερο υλικό προς το υπόστρωμα. Η συσκευή περιλαμβάνει περαιτέρω ένα σύστημα παραθυρόφυλλων κλίσης που εμποδίζει ένα πρώτο προκαθορισμένο ποσό του πρώτου υλικού στόχων και ένα δεύτερο προκαθορισμένο ποσό του δεύτερου υλικού στόχων που κατευθύνεται προς το υπόστρωμα προκειμένου να παραχθούν οι κλίσεις των πρώτων και δεύτερων υλικών στόχων στο υπόστρωμα. Οι κλίσεις των πρώτων και δεύτερων υλικών στόχων ταυτόχρονα που κατατίθενται επάνω στο υπόστρωμα για να διαμορφώσει ένα ομοιογενές προκύπτον υλικό. Μια μέθοδος για τις κλίσεις ταυτόχρονα κατάθεσης δύο ή περισσότερου υλικού στόχων επάνω σε ένα υπόστρωμα αποκαλύπτεται επίσης.