Method and apparatus for optical inspection of an article are presented. The apparatus comprises an illumination unit and at least one detection unit. The illumination unit generates an incident beam and directs it onto a predetermined region of the article. The detection unit includes a light collection system and a detector. The light collection system collects light scattered from the illuminated region with a predetermined constant maximum collection angle, and utilizes a variable angle design for selectively selecting from collected light at least one light component propagating with a solid angle segment of the maximum collection angle, and directing it to the detector.

El método y los aparatos para la inspección óptica de un artículo se presentan. El aparato abarca una unidad de la iluminación y por lo menos una unidad de la detección. La unidad de la iluminación genera una viga de incidente y la dirige sobre una región predeterminada del artículo. La unidad de la detección incluye un sistema ligero de la colección y un detector. El sistema ligero de la colección recoge la luz dispersada de la región iluminada con un ángulo máximo constante predeterminado de la colección, y utiliza un diseño variable del ángulo para selectivamente seleccionar de luz recogida en menos propagar componente un ligero con un segmento sólido del ángulo del ángulo máximo de la colección, y dirigirlo al detector.