A method and apparatus for supporting, cleaning and/or drying a polishing
pad used for planarizing a microelectronic substrate. In one embodiment,
the apparatus can include a cleaning head positioned adjacent a
post-operative portion of the polishing pad to clean and/or dry the rear
surface of the polishing pad. The cleaning head can include a heat source,
a mechanical contact element, and/or orifices that direct fluid and/or gas
toward the rear surface. The apparatus can further include a vessel
through which the rear surface of the polishing pad passes to clean the
rear surface. The apparatus can also include a flow passage in fluid
communication with a region between the polishing pad and a support pad
upon which the polishing pad rests during planarization. Gas moves through
the flow passage toward or away from an interface region between the
polishing pad and the support pad to draw the polishing pad toward or away
from the support pad.
Um método e um instrumento para suportar, limpar e/ou secar uma almofada lustrando usada planarizing uma carcaça microelectronic. Em uma incorporação, o instrumento pode incluir uma cabeça da limpeza adjacente posicionado uma parcela post-operative da almofada lustrando para limpar e/ou secar a superfície traseira da almofada lustrando. A cabeça da limpeza pode incluir uma fonte de calor, um elemento mecânico do contato, e/ou os orifícios que dirigem o líquido e/ou o gás para a superfície traseira. O instrumento pode mais mais incluir uma embarcação através de que a superfície traseira da almofada lustrando passa para limpar a superfície traseira. O instrumento pode também incluir uma passagem do fluxo em uma comunicação fluida com uma região entre a almofada lustrando e uma almofada da sustentação em cima de que a almofada lustrando descansa durante o planarization. O gás move-se através da passagem do fluxo para ou afastado de uma região da relação entre a almofada lustrando e a almofada da sustentação para extrair a almofada lustrando para ou afastado da almofada da sustentação.
