The present invention has an object to obtain an optical waveguide probe
which is formed in a hook form to illuminate and detect light by a
manufacture using a silicon process.
This optical waveguide probe is formed in a hook form and structured by an
optical waveguide 1 sharpened at a probe needle portion 5 and formed of
dielectric and a substrate 2 supporting this optical waveguide 1. This
optical waveguide 1 is formed overlying the substrate 2. The optical
waveguide 1 is structured by a core 8 to transmit light and a cladding 9
smaller in refractive index than the core 8.
La présente invention a un objet pour obtenir une sonde optique de guide d'ondes qui est formée sous une forme de crochet pour illuminer et détecter la lumière par une fabrication en utilisant un processus de silicium. Cette sonde optique de guide d'ondes est formée sous une forme de crochet et structurée par un guide d'ondes optique 1 affilé à une partie 5 d'aiguille de sonde et constitué du diélectrique et d'un substrat 2 soutenant ce guide d'ondes optique 1. Ce guide d'ondes optique 1 est formé recouvrant le substrat 2. Le guide d'ondes optique 1 est structuré par un noyau 8 pour transmettre la lumière et un revêtement 9 plus petit dans l'indice de réfraction que le noyau 8.