An electrostatic microelectromechanical system (MEMS) based fluid ejector comprises a movable piston structure and a stationary faceplate. A fluid chamber is defined between the piston structure and a substrate. The piston structure 110 may be resiliently mounted on the substrate by one or more spring elements. A fluid to be ejected is supplied in the fluid chamber from a fluid reservoir through a fluid refill hole formed in the substrate. The faceplate includes a nozzle hole through which a fluid jet or drop is ejected. In various exemplary embodiments, the piston structure moves towards the faceplate by electrostatic attraction between the piston structure and the faceplate. As a result of the movement of the piston structure, a portion of the fluid between the piston structure and the faceplate is forced out of the nozzle hole, forming a jet or drop of the fluid.

Электростатический microelectromechanical выталкиватель системы (MEMS) основанный жидкий состоит из подвижной структуры поршеня и неподвижной планшайбы. Жидкая камера определена между структурой поршеня и субстратом. Структура 110 поршеня может resiliently быть установлена на субстрате one or more элементами весны. Жидкость, котор нужно выкинуть поставлена в жидкой камере от жидкого резервуара через жидкое сформированное отверстие refill в субстрате. Планшайба вклюает отверстие сопла через выкинуты жидкие двигатель или падение. В различных примерных воплощениях, структура поршеня приблиубежит к планшайба электростатической привлекательностью между структурой поршеня и планшайбой. В результате движения структуры поршеня, часть жидкости между структурой поршеня и планшайбой forced из отверстия сопла, формирующ двигатель или падение жидкости.