A method and apparatus for monitoring a process by employing principal
component analysis are provided. Correlated attributes are measured for
the process to be monitored (the production process). Principal component
analysis then is performed on the measured correlated attributes so as to
generate at least one production principal component; and the at least one
production principal component is compared to a principal component
associated with a calibration process (a calibration principal component).
The calibration principal component is obtained by measuring correlated
attributes of a calibration process, and by performing principal component
analysis on the measured correlated attributes so as to generate at least
one principal component. A principal component having a feature indicative
of at least one of a desired process state, process event and chamber
state then is identified and is designated as the calibration principal
component. Preferably the at least one production principal component is
compared to the calibration principal component by computing the inner
product of the calibration and production principal components.
Μια μέθοδος και μια συσκευή για μια διαδικασία με την υιοθέτηση της ανάλυσης κύριων τμημάτων παρέχονται. Οι συσχετισμένες ιδιότητες μετριούνται για τη διαδικασία που ελέγχεται (η διαδικασία παραγωγής). Η ανάλυση κύριων τμημάτων έπειτα εκτελείται στις μετρημένες συσχετισμένες ιδιότητες ώστε να παραχθεί τουλάχιστον ένα κύριο τμήμα παραγωγής και το τουλάχιστον ένα κύριο τμήμα παραγωγής συγκρίνεται ένα κύριο συστατικό που συνδέεται με με μια διαδικασία βαθμολόγησης (ένα κύριο τμήμα βαθμολόγησης). Το κύριο τμήμα βαθμολόγησης λαμβάνεται με τη μέτρηση των συσχετισμένων ιδιοτήτων μιας διαδικασίας βαθμολόγησης, και με την εκτέλεση της ανάλυσης κύριων τμημάτων στις μετρημένες συσχετισμένες ιδιότητες ώστε να παραχθεί τουλάχιστον ένα κύριο τμήμα. Ένα κύριο συστατικό που έχει ένα χαρακτηριστικό γνώρισμα ενδεικτικό τουλάχιστον ένα από ένα επιθυμητό κράτος διαδικασίας, ένα γεγονός διαδικασίας και το κράτος αιθουσών έπειτα προσδιορίζεται και υποδεικνύεται ως κύριο τμήμα βαθμολόγησης. Κατά προτίμηση το τουλάχιστον ένα κύριο τμήμα παραγωγής συγκρίνεται με το κύριο τμήμα βαθμολόγησης με τον υπολογισμό του εσωτερικού προϊόντος των κύριων τμημάτων βαθμολόγησης και παραγωγής.
