A method and apparatus for detection of a particular material, such as photo-resist material, on a sample surface. A narrow beam of light is projected onto the sample surface and the fluoresced and/or reflected light intensity at a particular wavelength band is measured by a light detector. The light intensity is converted to a numerical value and transmitted electronically to a logic circuit which determines the proper disposition of the sample. The logic circuit controls a sample-handling robotic device which sequentially transfers samples to and from a stage for testing and subsequent disposition. The method is particularly useful for detecting photo-resist material on the surface of a semiconductor wafer.

Μια μέθοδος και μια συσκευή για την ανίχνευση ενός ιδιαίτερου υλικού, όπως photo-resist το υλικό, σε μια επιφάνεια δειγμάτων. Μια στενή ακτίνα του φωτός προβάλλεται επάνω στην επιφάνεια δειγμάτων και η φθορισμένη ή/και απεικονισμένη ελαφριά ένταση σε μια ιδιαίτερη ζώνη μήκους κύματος μετριέται από έναν ελαφρύ ανιχνευτή. Η ελαφριά ένταση μετατρέπεται σε μια αριθμητική αξία και διαβιβάζεται ηλεκτρονικά σε ένα κύκλωμα λογικής που καθορίζει την κατάλληλη διάθεση του δείγματος. Το κύκλωμα λογικής ελέγχει μια ρομποτική συσκευή δείγμα-χειρισμού που μεταφέρει διαδοχικά τα δείγματα σε και από ένα στάδιο για τη δοκιμή και την επόμενη διάθεση. Η μέθοδος είναι ιδιαίτερα χρήσιμη για photo-resist το υλικό στην επιφάνεια μιας γκοφρέτας ημιαγωγών.