A method for manufacturing a micromechanical device, in particular a micromechanical vibrating-mirror device, having the following steps: making available a three-layer structure having a first layer, a second layer and a third layer, the second layer lying between the first and the third layers; etching through the first layer up to the second layer to produce an island region, lying on the second layer, which is joined to region of the first layer surrounding the island region by way of one or more connecting webs, and etching through a region of the third layer up to the second layer and removing a region of the second layer below the island region in such a way that the island region can perform movements, preferably torsional vibrations, about the one or more connecting webs, the torsional vibrations having such an amplitude that a part of the island region extends into the etched-through region of the third layer.

Een methode om een micromechanical apparaat te vervaardigen, in het bijzonder een micromechanical trillen-spiegelapparaat, dat de volgende stappen heeft: ter beschikking stellend drie-laag een structuur die een eerste laag, een tweede laag en een derde laag, de tweede laag heeft die tussen de eerste en derde lagen liggen; etsend door de eerste laag tot de tweede laag om een eilandgebied te produceren dat, dat op de tweede laag ligt, die aan gebied van de eerste laag die het eilandgebied als één of meerdere verbindende Web omringt wordt aangesloten bij, en door een gebied van de derde laag tot de tweede laag etst en een gebied van de tweede laag verwijdert onder het eilandgebied zodanig dat het eilandgebied kan bewegingen, bij voorkeur gewrongen trillingen, over de één of meerdere verbindende Web, de gewrongen trillingen uitvoeren die een dergelijke omvang hebben dat een deel van het eilandgebied zich in het etsen-door gebied van de derde laag uitbreidt.