A homogeneous non-aqueous compositions containing a fluorinated solvent, ozone, and optionally a co-solvent and the use of these compositions for cleaning and oxidizing substrates is described.

Wird der homogene nichtwässerige Aufbau, der ein fluoriertes Lösungsmittel, Ozon und beliebig ein Co-Lösungsmittel und den Gebrauch von diesem Aufbau für Reinigung enthält und Substrate oxidiert, beschrieben.