A method and system thereof for efficiently computing the number of dies per wafer and the corresponding number of stepper shot counts. Dimensions for a die and the size of the wafer are received. The dimensions comprise a die element size that is a function of a scribe lane width, a guard ring width, an input/output pad area, and a length and a width of the die. A die count lookup table is selected for the specified wafer size and used to determine the die count corresponding to the die element size. In a similar manner, a stepper shot count lookup table is selected for the specified wafer size and used to determine the stepper shot count corresponding to the die element size. The axes of the die count and stepper shot count lookup tables are incremented by varying amounts; for example, the increments in one portion of the lookup tables are smaller (finer), and in another portion the increments are larger (grosser). By using larger increments in portions of the lookup tables, the amount of data in the tables can be reduced, making the tables easier to generate and work with.

Un metodo e un sistema di ciò per efficientemente la computazione il numero di dadi per la cialda e del numero corrispondente di colpo passo passo conta. Le dimensioni per un dado ed il formato della cialda sono ricevuti. Le dimensioni contengono un formato dell'elemento del dado che è una funzione di una larghezza del vicolo dello scrivano, una larghezza dell'anello della protezione, una zona del rilievo dell'ingreso/uscita e una lunghezza e una larghezza del dado. Una tabella di occhiata di conteggio del dado è selezionata per il formato specificato della cialda ed è usata per determinare il conteggio del dado che corrisponde al formato dell'elemento del dado. In un modo simile, una tabella passo passo di occhiata di conteggio del colpo è selezionata per il formato specificato della cialda ed è usata per determinare il conteggio passo passo del colpo che corrisponde al formato dell'elemento del dado. Le ascie del dado contano e le tabelle passo passo di occhiata di conteggio del colpo incremented dagli importi di variazione; per esempio, gli incrementi in una parte delle tabelle di occhiata sono più piccoli (più fine) ed in un'altra parte gli incrementi sono più grandi (più lordo). Usando i più grandi incrementi nelle parti delle tabelle di occhiata, la quantità di dati nelle tabelle può essere ridotta, rendendo le tabelle più facili generare e funzionare con.