A microelectromechanical system (MEMS) tunable capacitor having low loss and a corresponding high Q is provided. The tunable capacitor includes a first substrate having a first capacitor plate disposed thereon. A fixed pivot structure is disposed on the first surface of the first substrate, proximate the first capacitor plate. The fixed pivot structure as a point of attachment for a flexible membrane that extends outward from the fixed pivot and generally overlies the first capacitor plate. A second substrate is attached to the underside of the flexible membrane and a second capacitor plate is disposed thereon such that the first and second capacitor plates face one another in a spaced apart relationship. A MEMS actuator is operably in contact with the flexible membrane for the purpose of providing an actuation force to the flexible membrane, thereby varying the capacitance between the first and second capacitor plates. In one advantageous embodiment of the invention the first and second capacitor plates are formed of an HTS material and the first and second substrates may be formed of a low signal loss material that is compatible with the HTS materials. The MEMS actuator device used to provide actuation to the flexible membrane of the tunable capacitor may include a MEMS electrostatic flexible film actuator, a MEMS thermal arched beam actuator, a MEMS thermal bimorph actuator, a MEMS piezoelectric actuator or any other MEMS actuation device. Additionally, a method for making a tunable capacitor is provided.

Ein microelectromechanical System (MEMS) tunable Kondensator, der niedrigen Verlust und ein entsprechendes hohes Q hat, wird zur Verfügung gestellt. Der tunable Kondensator schließt ein erstes Substrat mit ein, das eine erste Kondensatorplatte darauf abschaffen läßt. Eine örtlich festgelegte Gelenkstruktur wird auf der ersten Oberfläche des ersten Substrates abgeschaffen, nächste die erste Kondensatorplatte. Die örtlich festgelegte Gelenkstruktur als Befestigungspunkt für eine flexible Membrane, die außerhalb vom örtlich festgelegten Gelenk verlängert und überlagert im Allgemeinen die erste Kondensatorplatte. Ein zweites Substrat wird zur Unterseite der flexiblen Membrane angebracht und einer zweiten Kondensatorplatte wird darauf so abgeschaffen, daß der erste und zweite Kondensator Gesicht eins anders in einem Raumgetrenntverhältnis überzieht. Ein MEMS Auslöser ist operably in Verbindung mit der flexiblen Membrane mit dem Ziel das Zur Verfügung stellen einer Betätigung Kraft zur flexiblen Membrane, dadurch erverändert erverändert die Kapazitanz zwischen die ersten und zweiten Kondensatorplatten. In einer vorteilhaften Verkörperung der Erfindung werden die ersten und zweiten Kondensatorplatten von einem HTS Material gebildet und die ersten und zweiten Substrate können von einem niedrigen Signalverlustmaterial gebildet werden, das mit den HTS Materialien kompatibel ist. Die MEMS Auslöservorrichtung verwendete, Betätigung zur flexiblen Membrane des tunable Kondensators zur Verfügung zu stellen kann einen MEMS elektrostatischen flexiblen Filmauslöser, einen MEMS thermischen gewölbten Lichtstrahlauslöser, einen MEMS thermischen bimorph Auslöser, einen MEMS piezoelektrischen Auslöser oder jede mögliche andere MEMS Betätigung Vorrichtung einschließen. Zusätzlich wird eine Methode für das Bilden eines tunable Kondensators zur Verfügung gestellt.