A reactor system with an associated wafer support device is provided for
use in the growth of an epitaxial layer of semiconductor material on a
semiconductor wafer. The reactor system includes a reaction chamber
including an inlet and an outlet configured to flow a source gas through
the reaction chamber. The reaction system also includes a wafer support
mounted at least partially within the reaction chamber, and a
semiconductor wafer supported adjacent an outer edge by the wafer support.
The wafer support device typically includes a hub and an arm extending
outwardly from the hub. The wafer support device also typically includes a
contact member coupled to the arm. In some embodiments a portion of the
contact member extending downward relative to the back side of the wafer.
The downwardly extending portion is configured to contact and support the
wafer during epitaxial growth of semiconductor material onto the wafer.
Un système de réacteur avec un dispositif associé de soutien de gaufrette est donné pour l'utilisation dans la croissance d'une couche épitaxiale de matériel de semi-conducteur sur une gaufrette de semi-conducteur. Le système de réacteur inclut une chambre de réaction comprenant une admission et une sortie configurées pour passer un gaz de source par la chambre de réaction. Le système de réaction inclut également un appui de gaufrette monté au moins partiellement dans la chambre de réaction, et une gaufrette de semi-conducteur a soutenu adjacent un bord externe par l'appui de gaufrette. Le dispositif de soutien de gaufrette inclut typiquement un moyeu et un bras se prolongeant extérieurement du moyeu. Le dispositif de soutien de gaufrette inclut également typiquement un membre de contact couplé au bras. Dans quelques incorporations par partie du membre de contact se prolongeant en bas relativement à l'arrière de la gaufrette. La partie se prolongeante de haut en bas est configurée pour entrer en contact avec et soutenir la gaufrette pendant la croissance épitaxiale du matériel de semi-conducteur sur la gaufrette.
