A synthetic silica glass having a high transmittance for vacuum ultraviolet rays, for example F.sub.2 excimer laser beam with a wavelength of 157 nm, a high uniformity and a high durability and useful for ultraviolet ray-transparent optical glass materials is produced from a high-purity silicon compound, for example silicon tetrachloride, by heat treating an accumulated porous silica material at a temperature not high enough to convert the porous silica material to a transparent silica glass in an inert gas atmosphere for a time sufficient to cause the OH groups to be condensed and removed from the glass, and exhibits substantially no content of impurities other than OH group a difference between highest and lowest fictional temperatures of 50.degree. C. or less and a transmittance of 157 nm ultraviolet rays through a 10 mm optical path of 60% or more, and optically a OH group content of 1 to 70 ppm, a Cl content less than 1 ppm, a total content of impurity metals of 50 ppb or less, a content of each individual impurity metal less than 10 ppb, and an ultraviolet ray-transmittance at 172 to 200 nm of 40% or more even after the glass is exposed to an irradiation of ultraviolet rays at 160 to 300 nm for one hour.

Un vetro sintetico del silicone che ha un'alta trasmissione per i raggi ultravioletti di vuoto, per esempio fascio laser del excimer F.sub.2 con una lunghezza d'onda di 157 nm, un'alta uniformità e un'alta durevolezza ed utile per i materiali di vetro ottici raggio-trasparenti ultravioletti è prodotto da un residuo di grande purezza del silicone, per esempio il tetracloruro del silicone, da calore che tratta un materiale poroso accumulato del silicone ad una temperatura abbastanza non su per convertire il materiale poroso del silicone in vetro trasparente del silicone in un atmosfera del gas inerte per un certo tempo sufficiente per indurre i gruppi dell'OH ad essere condensato ed ad rimosso dal vetro e le esposizioni sostanzialmente nessun il soddisfare delle impurità tranne l'OH raggruppano una differenza in mezzo il più su ed il più basso fictional temperature di 50.degree. Il C. o di meno e una trasmissione di 157 raggi ultravioletti di nm con un percorso ottico da 10 millimetri di 60% o più ed otticamente un contenuto del gruppo dell'OH di 1 - 70 PPM, un soddisfare del Cl più meno di 1 PPM, un contenuto totale dei metalli dell'impurità di ppb 50 o di di meno, un contenuto di ogni ppb specifico di 10 del metallo dell'impurità più meno e una raggio-trasmissione ultravioletta a 172 a 200 un nm di 40% o più anche dopo il vetro è esposto ad un'irradiazione dei raggi ultravioletti a 160 a 300 nm per un'ora.