A method for crystallizing a lithium transition metal oxide thin film for an electrode of a thin film-type lithium secondary battery is provided, in which the lithium transition metal oxide thin film is reacted with oxygen or argon plasma induced by a microwave or a radio frequency wave, thereby obtaining an excellent lithium transition metal oxide thin film in a degree of crystallization and electrochemical characteristics.

Eine Methode für die Kristallisierung eines Dünnfilms des Lithiumübergang Metalloxids für eine Elektrode einer Sekundärbatterie des dünnen filmartigen Lithiums wird zur Verfügung gestellt, in der der Dünnfilm des Lithiumübergang Metalloxids mit dem Sauerstoff- oder Argonplasma reagiert wird, das durch eine Mikrowelle oder eine Hochfrequenzwelle verursacht wird, dadurch erhält man einen ausgezeichneten Dünnfilm des Lithiumübergang Metalloxids in einem Grad Kristallisation und elektrochemischen Eigenschaften.