A plurality of acoustic resonators are manufactured in a batch process by forming cavities in a substrate and filling the cavities with a sacrificial layer. An FBAR membrane comprising a bottom electrode, a piezoelectric layer, and a top electrode is formed over each cavity and the sacrificial layer. The substrate is then thinned and the substrate is separated into a plurality of dice using a scribe and break process. The sacrificial layer is then removed and the FBAR filter is mounted in a package with thermal vias being thermal communication with underside of the FBAR filter. The production method improves thermal properties by increasing the efficiency of heat dissipation from the FBAR filter. In addition, electromagnetic interference is decreased by reducing the distance between a primary current flowing over the surface of the FBAR filter and an image current flowing in a ground plane beneath the FBAR filter.

Множественность акустических резонаторов изготовлена в серийном процессе путем формировать полости в субстрате и заполнять полости с жертвенным слоем. Мембрана FBAR состоя из нижнего электрода, пьезоэлектрического слоя, и верхнего электрода сформирована над каждой полостью и жертвенным слоем. Субстрат после этого утончен и субстрат отделен в множественность плашек использующ процесс подьячей и пролома. Жертвенный слой после этого извлекается и фильтр FBAR установлен в пакете при термально vias термально сообщением с нижней стороной фильтра FBAR. Способа производства улучшает термально свойства путем увеличивать эффективность тепловыделения от фильтра FBAR. In addition, электромагнитное взаимодействие уменьшито путем уменьшение расстояния между главным образом в настоящее время пропускать над поверхностью фильтра FBAR и пропускать изображения в настоящее время в плоскости земное под фильтром FBAR.