An improvement is provided in a dipole-ring magnet as a magnetic field
generator in a magnetron plasma treatment apparatus relative to the height
of the plane in which the magnetic field consists only of the component in
the horizontal direction perpendicular to the length of the magnetically
anisotropic columnar segment magnets of which the dipole-ring magnet is
constituted. While the height of the plane of horizontal magnetic field is
the half height of the length of the segment magnets in a conventional
dipole-ring magnet, the plane of horizontal magnetic field shifts
downwardly by mounting a ring member of a ferromagnetic material on or
above the upper end surfaces of the columnar segment magnets so as to
enable a more compact and more economical design of the magnetron plasma
treatment apparatus.
Una mejora se proporciona en un imán del dipolo-anillo como generador del campo magnético en un aparato del tratamiento del plasma del magnetrón concerniente a la altura del plano en el cual el campo magnético consiste solamente en el componente en el perpendicular horizontal de la dirección a la longitud de los imanes acolumnados magnético anisotropic del segmento de los cuales se constituye el imán del dipolo-anillo. Mientras que la altura del plano del campo magnético horizontal es la media altura de la longitud de los imanes del segmento en un imán convencional del dipolo-anillo, el plano del campo magnético horizontal cambia de puesto hacia abajo montando a un miembro del anillo de un material ferromagnético en o sobre las superficies del extremo superior de los imanes acolumnados del segmento para permitir un diseño más compacto y más económico del aparato del tratamiento del plasma del magnetrón.