A micromechanical electrical systems (MEMS) metallic micromachined electrical switch usable on the die of an integrated circuit and inside the integrated circuit package for controlling radio frequency signal paths while incurring desirably small signal losses. The switch is of the single pole single throw mechanical type with provision for grounding one open-switch position node in the interest of limiting capacitance coupling across the switch in its open condition. Cantilever beam switch element suspension is included along with normally open and normally closed switch embodiments, electrostatic switch actuation and signal coupling through the closed switch by way of capacitance coupling. Low loss radio frequency operation above one gigahertz in frequency is provided.

Les systèmes électriques micromechanical (MEMS) métalliques micromachined le commutateur électrique utilisable sur la matrice d'un circuit intégré et d'un intérieur le paquet de circuit intégré pour les circuits de contrôle de fréquence par radio tout en encourant des pertes de préférence petites de signal. Le commutateur est du type mécanique de jet simple simple de poteau avec la disposition pour fondre un noeud de position d'ouvrir-commutateur dans l'intérêt de limiter l'accouplement de capacité à travers le commutateur en son état ouvert. La suspension en porte-à-faux d'élément de commutateur de faisceau est incluse avec des incorporations normalement ouvertes et normalement fermées de commutateur, la mise en action électrostatique de commutateur et l'accouplement de signal par le commutateur fermé par l'accouplement de capacité. La basse opération de fréquence par radio de perte au-dessus d'un gigahertz dans la fréquence est fournie.