An active temperature control system for a DUT utilizes a heat sink containing HFE7100 liquid and an electric heater. The liquid is cooled below the set point and the heater is used to bring the DUT up to the set point. Set points in the range of -10 degrees C. to +110 degrees C. can be achieved. The heat sink utilizes only a single coolant for all of the set points, allowing set points to be changed within a few minutes. At a given set point, the heater provides a quick response to offset the effect of self-heating and keep the set point deviation to within a few degrees C. Power following techniques can be utilized to achieve the quick response.

Un sistema activo del control de la temperatura para un DUT utiliza un disipador de calor que contiene el líquido HFE7100 y un calentador eléctrico. El líquido se refresca debajo del punto de ajuste y el calentador se utiliza para traer el DUT hasta el punto de ajuste. Los puntos de ajuste en el radio de acción de -10 grados C. a +110 grados que la C. puede ser alcanzada. El disipador de calor utiliza solamente un solo líquido refrigerador para todos los puntos de ajuste, permitiendo que los puntos de ajuste sean cambiados dentro de algunos minutos. En un punto de ajuste dado, el calentador proporciona una respuesta rápida para compensar el efecto de self-heating y para guardar la desviación del punto de ajuste dentro de algunos grados C. Las técnicas siguientes de la energía se pueden utilizar para alcanzar la respuesta rápida.