To provide a probe having an optical waveguide which is robust and highly reliable, and a method of manufacturing the same. A probe having an optical waveguide includes an optical waveguide portion having a double hetero structure and comprising an In.sub.1-x'-y' Ga.sub.x' Al.sub.y' N layer (5), an In.sub.1-x-y Ga.sub.x Al.sub.y N layer (4), and an In.sub.1-x"-y" Ga.sub.x" Al.sub.y" N layer (3); and an Al.sub.x Ga.sub.1-x N probe portion (8) grown in a conical shape on the In.sub.1-x-y Ga.sub.x Al.sub.y N layer (4) of the optical waveguide portion.

Para proporcionar una punta de prueba que tiene una guía de onda óptica que es robusta y altamente confiable, y un método de fabricar igual. Una punta de prueba que tiene una guía de onda óptica incluye una porción óptica de la guía de onda que tiene una estructura doble del hetero y que abarca un In.sub.1-x'-y ' Ga.sub.x ' Al.sub.y ' capa de N de la capa de N (5), Ga.sub.x "Al.sub.y la" de la capa de In.sub.1-x-y Ga.sub.x Al.sub.y N (4), y de un In.sub.1-x"-y de un" (3); y una porción de la punta de prueba de Al.sub.x Ga.sub.1-x N (8) crecida en una forma cónica en la capa de In.sub.1-x-y Ga.sub.x Al.sub.y N (4) de la porción óptica de la guía de onda.