A fluid encapsulated MEMS optical switch includes an optical waveguide
matrix with MEMS mirrors situated in trenches located at waveguide
cross-points. The trenches are filled with collimation-maintaining fluid
and the mirrors are immersed the rein. The collimation maintaining fluid
prevents the light beam from spreading when it enters the switch
cross-points. This feature enables the use of much smaller MEMS mirrors
and prevents some of the typical MEMS mirror problems found in the related
art
Un interruttore ottico incapsulato liquido di MEMS include una tabella ottica della guida di onde con gli specchi di MEMS situati in trincee situate ai incroci della guida di onde. Le trincee sono riempite di liquido collimation-effettuante e gli specchi sono immersi la redine. Il liquido effettuante di collimation impedisce il raggio di luce la diffusione quando entra nei incroci dell'interruttore. Questa caratteristica permette l'uso di specchi molto piĆ¹ piccoli di MEMS ed impedisce alcuni dei problemi tipici dello specchio di MEMS trovati nell'arte relativa