A fluid encapsulated MEMS optical switch includes an optical waveguide matrix with MEMS mirrors situated in trenches located at waveguide cross-points. The trenches are filled with collimation-maintaining fluid and the mirrors are immersed the rein. The collimation maintaining fluid prevents the light beam from spreading when it enters the switch cross-points. This feature enables the use of much smaller MEMS mirrors and prevents some of the typical MEMS mirror problems found in the related art

Un interruttore ottico incapsulato liquido di MEMS include una tabella ottica della guida di onde con gli specchi di MEMS situati in trincee situate ai incroci della guida di onde. Le trincee sono riempite di liquido collimation-effettuante e gli specchi sono immersi la redine. Il liquido effettuante di collimation impedisce il raggio di luce la diffusione quando entra nei incroci dell'interruttore. Questa caratteristica permette l'uso di specchi molto piĆ¹ piccoli di MEMS ed impedisce alcuni dei problemi tipici dello specchio di MEMS trovati nell'arte relativa

 
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< Capping layer in interconnect system and method for bonding the capping layer onto the interconnect system

> Feram cell with internal oxygen source and method of oxygen release

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