A multi-axis magnetically actuated device, an array of multi-axis magnetically actuated devices, and a method of fabrication of a multi-axis magnetically actuated device are disclosed. In addition, disclosed is an optical switch comprised of an array of multi-axis magnetically actuated devices and an array of ports adapted to receive an optical waveguide such as, for example, an optical fiber. The multi-axis magnetically actuated device of the invention is capable of rotational movement in two orthogonal directions. In one embodiment, the multi-axis magnetically actuated device comprises two nested rotational members, an inner rotational member nested within an outer rotational member that in turn is nested within a base member. The inner rotational member is mounted by two inner torsional flexures to the outer rotational member that in turn is mounted by two outer torsional flexures to the base member. The inner torsional flexures define an inner axis of rotation while the outer torsional flexures define an outer axis of rotation. The rotational motions of each rotational member arise in response to an interaction between a magnetic influence and a magnetic moment generated by a current passing through coils arranged adjacent to a surface of the inner rotational member. Bulk micromachining techniques enable the members to be formed from a monolithic silicon wafer and can produce a member with a smooth surface. The smooth surface of a member may function as a reflector. In one embodiment, the inner rotational member functions as a reflector.

Un dispositivo magneticamente attuato multiasse, un allineamento dei dispositivi magneticamente attuati multiasse e un metodo di lavorazione di un dispositivo magneticamente attuato multiasse sono rilevati. In più, rilevato è un interruttore ottico formato da un allineamento dei dispositivi magneticamente attuati multiasse e da un allineamento degli orificii adattati per ricevere una guida di onde ottica come, per esempio, una fibra ottica. Il dispositivo magneticamente attuato multiasse dell'invenzione è capace di movimento di rotazione in due sensi ortogonali. In un incorporamento, il dispositivo magneticamente attuato multiasse contiene due ha annidato i membri di rotazione, un membro di rotazione interno annidato presso un membro di rotazione esterno che a loro volta è annidato presso un membro basso. Il membro di rotazione interno è montato da due flessioni di torsione interne al membro di rotazione esterno che a loro volta è montato da due flessioni di torsione esterne al membro basso. Le flessioni di torsione interne definiscono un asse di rotazione interno mentre le flessioni di torsione esterne definiscono un asse di rotazione esterno. I movimenti di rotazione di ogni membro di rotazione presentano in risposta ad un'interazione fra un'influenza magnetica e un momento magnetico generati da un passare corrente attraverso le bobine organizzate adiacente ad una superficie del membro di rotazione interno. Le tecniche micromachining all'ingrosso permettono ai membri di essere formate da una lastra di silicio monolitica e possono produrre un membro con una superficie regolare. La superficie regolare di un membro può funzionare come riflettore. In un incorporamento, il membro di rotazione interno funziona come riflettore.