A single slot valve shaft is in a vacuum body between adjacent vacuum chambers, such as a process module and a transport module. Separate valves are provided on the single shaft actuator for each of two valve body slots, each body slot being closed or opened according to the position of the single shaft. The separate valves allow a vacuum condition to be maintained in the transport module while an adjacent process module is open to the atmosphere for servicing. The single shaft allows access to an open valve for servicing the open valve by way of stops that limit drive travel and hold the valve in an open, but not vertically-spaced, position relative to a respective slot. The open valve is easily reached by a gloved hand of a service worker. The single shaft is mounted on a first cradle, and the first cradle is mounted on a second cradle. Two separate shaft drives move the two cradles to position the single shaft to locate the valves between the slots to open one slot and close the other slot. Another separate shaft drive moves the single shaft vertically down from the open position and away from the slots to expose seal surfaces around the slots for cleaning.

Un axe simple de valve de fente est dans un corps de vide entre les chambres adjacentes de vide, telles qu'un module de processus et un module de transport. Des valves séparées sont fournies sur le déclencheur simple d'axe pour chacune de deux fentes de corps de valve, chaque fente de corps étant fermée ou ouvertes selon la position de l'axe simple. Les valves séparées permettent à un état de vide d'être maintenu dans le module de transport tandis qu'un module de processus adjacent est ouvert d'atmosphère pour l'entretien. L'axe simple permet l'accès à une valve ouverte pour entretenir la valve ouverte par les arrêts que le voyage d'entraînement de limite et jugent la valve dans un ouvert, mais vertical-non espacé, position relativement à une fente respective. La valve ouverte est facilement atteinte par une main enfilée de gants d'un ouvrier de service. L'axe simple est monté sur un premier berceau, et le premier berceau est monté sur un deuxième berceau. Deux commandes séparées d'axe déplacent les deux berceaux pour placer l'axe simple pour localiser les valves entre les fentes pour ouvrir une fente et ferment l'autre fente. Une autre commande séparée d'axe éloigne l'axe simple verticalement vers le bas de la position d'ouverture et des fentes aux surfaces de joint d'exposition autour des fentes pour le nettoyage.