A monolithically fabricated micromachined structure (52) couples a
reference frame (56) to a dynamic plate (58) or second frame for rotation
of the plate (58) or second frame with respect to the reference frame
(56). Performance of torsional oscillators or scanners (52) benefits
greatly by coupling the frame (56) to the plate (58) or second frame with
torsional flexure hinges (56) rather than torsion bars (54). Appendages
(122), tethers (142) or an improved drive circuit enhance electrostatic
drive stability of torsional oscillators (52). Wide and thin torsional
flexure hinges (96) and isotopically pure silicon enhance thermal
conductivity between the plate (58) and the frame (56). Dampening material
bridging slots (232) adjacent to torsional flexure hinges (96) drastically
reduce the dynamic member's Q. A widened section (252) of narrow torsional
flexure hinges (96) permit inclusion of a torsion sensor (108). A dynamic
member (58) that includes an actuator portion (302) performs light beam
switching. Reflective coatings (76), wire grid polarizers (362),
photo-detectors (372) and Fresnel lenses (376) enhance optical performance
of the torsional scanners (58).
Монолитово изготовленное micromachined пары структуры (52) рамка справки (56) к динамической плите (58) или вторая рамка для вращения плиты (58) или вторая рамка по отношению к рамке справки (56). Представление крутящих генераторов или блоков развертки (52) помогает больш путем соединять рамку (56) к плите (58) или вторую рамку с крутящими шарнирами сгибания (56) rather than штанги кручения (54). Придатки (122), привязывают (142) или улучшенная цепь привода увеличивает электростатическую стабилность привода крутящих генераторов (52). Широкие и тонкие крутящие шарниры сгибания (96) и изотопно чисто кремний увеличивают термально проводимость между плитой (58) и рамкой (56). Смачивая материал наводя шлицы (232) за крутящими шарнирами сгибания (96) drastically уменьшает ц динамического члена. Расширенный раздел (252) узких крутящих шарниров сгибания (96) позволяет включение датчика кручения (108). Динамический член (58) вклюает часть привода (302) выполняет переключение светового луча. Отражательные покрытия (76), поляризаторы решетки провода (362), фотодетекторы (372) и объективы fresnel (376) увеличивают оптически представление крутящих блоков развертки (58).
