A stage system includes a stage mechanism having a movable stage and a stage supporting member for carrying the movable stage thereon, and a countermass mechanism having a movable countermass and a countermass supporting member for carrying the countermass thereon, wherein the stage supporting member and the countermass supporting member are supported separately or with vibration isolated.

Un sistema de la etapa incluye un mecanismo de la etapa que tiene una etapa movible y un miembro de soporte de la etapa para llevar la etapa movible sobre eso, y un mecanismo de los countermass teniendo countermass movibles y los countermass que apoyan a miembro para llevar los countermass sobre eso, en donde apoyan al miembro de soporte de la etapa y los countermass que apoyan a miembro por separado o con la vibración aislada.