The invention relates to a method and an apparatus for providing high fidelity reconstruction built on a grid of an observed sample. An input means (10, 11, 13, 14; 40, 43, 14; 52, 13, 14) provides observed data of the sample. An estimated distribution means (19; 44; 54) provides an initial estimated distribution of the sample. A prejudice distribution means (21, 25, 15; 45, 15; 54, 15) provides a blurred prior prejudice distribution using estimated data. A calculating means (12) calculates in an iterative process for each iteration: a new estimated distribution of the sample using comparison between the estimated distribution in the next preceding iteration and said observed data of the sample from said in-put means; a new prior prejudice distribution on the new estimate less blurred than the prior prejudice distribution in the next preceding iteration. The calculation means (12) continues the iterations until the difference between the new estimated distribution and the next preceding estimated distribution is less than a predetermined condition. The calculated result is presented.

Die Erfindung bezieht auf einer Methode und einem Apparat für das Zur Verfügung stellen der Highfidelityrekonstruktion, die auf einem Rasterfeld einer beobachteten Probe errichtet wird. Ein Eingang Mittel (10, 11, 13, 14; 40. 43, 14; 52. 13, 14) liefert beobachtete Daten der Probe. Eine geschätzte Verteilung Mittel (19; 44; 54) liefert eine geschätzte Ausgangsverteilung der Probe. Eine Vorurteilverteilung Mittel (21, 25, 15; 45. 15; 54. 15) liefert eine unscharfe vorherige Vorurteilverteilung mit geschätzten Daten. Eine Berechnung bedeutet, daß (12) in einem wiederholenden Prozeß für jede Wiederholung errechnet: eine neue geschätzte Verteilung der Probe mit Vergleich zwischen der geschätzten Verteilung in der folgenden vorhergehenden Wiederholung und den besagten beobachteten Daten der Probe von besagten Eingang Mitteln; eine neue vorherige Vorurteilverteilung auf der neuen Schätzung weniger verwischt als die vorherige Vorurteilverteilung in der folgenden vorhergehenden Wiederholung. Die Berechnung Mittel (12) setzt die Wiederholungen bis den Unterschied zwischen der neuen geschätzten Verteilung fort und der folgenden vorangehenden geschätzten Verteilung ist kleiner als ein vorbestimmter Zustand. Das errechnete Resultat wird dargestellt.