The invention offers a hard carbon film and a SAW substrate that are easy to fabricate or low in manufacturing cost while virtually maintaining the quality that affects the important properties of a device that comprises the hard carbon film or the SAW substrate. The hard carbon film comprises a composite film of graphite-like diamond and carbon clusters; the composite film has a continuous crystal structure.

Вымысел предлагает трудную пленку углерода и субстрат ПИЛЫ легко для того чтобы изготовить или низко в производительные расходы пока фактически поддерживающ качество влияет на важные свойства приспособления состоит из трудной пленки углерода или субстрата ПИЛЫ. Трудная пленка углерода состоит из составной пленки графит-kak групп диаманта и углерода; составная пленка имеет непрерывную кристаллическую структуру.