A MEM capacitor having a capacitance plate nearer a movable plate than a
separate bias plate. Voltage potential between the bias plate and movable
plate determines the value of capacitance between the movable plate and
the capacitance plate. In a preferred MEM capacitor, the movable plate is
suspended over two fixed plates, a bias plate and a capacitance plate. The
movable plate is disposed opposite both the bias plate and the capacitance
plate. A distance between opposing surfaces of the capacitance plate and
the movable plate is less than a distance between the bias plate and the
capacitance plate. Preferably, the relative difference in distances
between the plates is accomplished by a mechanically suspended movable
plate that is shaped to have portions in at least two separate planes.
Een condensator MEM die een capacitieve weerstandsplaat heeft meer dichtbij een beweegbare plaat dan een afzonderlijke bias plaat. Het potentieel van het voltage tussen de bias plaat en beweegbare plaat bepaalt de waarde van capacitieve weerstand tussen de beweegbare plaat en de capacitieve weerstandsplaat. In een aangewezen condensator MEM, wordt de beweegbare plaat opgeschort meer dan twee vaste platen, een bias plaat en een capacitieve weerstandsplaat. De beweegbare plaat wordt geschikt tegenover zowel de bias plaat als de capacitieve weerstandsplaat. Een afstand tussen zich het verzetten van oppervlakten van de capacitieve weerstandsplaat en de beweegbare plaat is minder dan een afstand tussen de bias plaat en de capacitieve weerstandsplaat. Bij voorkeur, wordt het relatieve verschil in afstanden tussen de platen verwezenlijkt door een mechanisch opgeschorte beweegbare plaat die wordt gevormd om gedeelten in minstens twee afzonderlijke vliegtuigen te hebben.