An excimer or molecular fluorine laser includes a gain medium surrounded by a resonator and including a line-narrowing module preferably including a prism beam expander and one or more etalons and/or a grating or grism within the resonator. The material of transmissive portions of the line-narrowing module including the prisms and the plates of the etalons comprises a material having an absorption coefficient of less than 5.times.10.sup.31 3 /cm at 248 nm incident radiation, less than 10.times.10.sup.-3 /cm at 193 nm incident radiation, and less than 0.1/cm at 157 nm. Preferably the material also has a thermal conductivity greater than 2.0 W/m.degree. C.

Um excimer ou um laser molecular do fluorine incluem um meio do ganho cercado um ressonador e incluir um módulo linha-estreitando-se preferivelmente including um expansor do feixe de prisma e um um ou mais etalons e/ou um grating ou um grism dentro do ressonador. O material de parcelas transmissive do módulo linha-estreitando-se including os prismas e das placas dos etalons compreende um material que tem um coeficiente de absorption de menos do que 5.times.10.sup.31 3 /cm na radiação do incident de 248 nm, mais menos do que 10.times.10.sup.-3 /cm na radiação do incident de 193 nm, e menos de 0.1/cm em 157 nm. Preferivelmente o material tem também um conductivity térmico mais extremamente de 2.0 W/m.degree. C.