An integrated optically pumped vertical cavity surface emitting laser
(VCSEL) is formed by integrating an electrically pumped in-plane
semiconductor laser and a vertical cavity surface emitting laser together
with a beam steering element formed with the in-plane semiconductor laser.
The in-plane semiconductor laser can be a number of different types of
in-plane lasers including an edge emitting laser, an in-plane surface
emitting laser, or a folded cavity surface emitting laser. The in-plane
semiconductor laser optically pumps the VCSEL to cause it to lase. The
in-plane semiconductor laser is designed to emit photons of relatively
short wavelengths while the VCSEL is designed to emit photons of
relatively long wavelengths. The in-plane semiconductor laser and the
VCSEL can be coupled together in a number of ways including atomic
bonding, wafer bonding, metal bonding, epoxy glue or other well know
semiconductor bonding techniques. The beam steering element can be an
optical grating or a mirrored surface.
Μια ενσωματωμένη οπτικά αντλημένη κάθετη επιφάνεια κοιλοτήτων που εκπέμπει το λέιζερ (VCSEL) διαμορφώνεται με την ενσωμάτωση ενός ηλεκτρικά αντλημένου-ΕΠΊΠΕΔΟΥ λέιζερ ημιαγωγών και μιας κάθετης επιφάνειας κοιλοτήτων εκπέμποντας το λέιζερ μαζί με ένα στοιχείο οδήγησης ακτίνων που διαμορφώνεται με το-ΕΠΊΠΕΔΟ λέιζερ ημιαγωγών. Το-ΕΠΊΠΕΔΟ λέιζερ ημιαγωγών μπορεί να είναι διάφοροι διαφορετικοί τύποι-ΕΠΊΠΕΔΩΝ λέιζερ συμπεριλαμβανομένης μιας άκρης που εκπέμπουν το λέιζερ, μιας-ΕΠΊΠΕΔΗΣ επιφάνειας που εκπέμπουν το λέιζερ, ή μιας διπλωμένης επιφάνειας κοιλοτήτων που εκπέμπουν το λέιζερ. Οι-ΕΠΊΠΕΔΕΣ αντλίες λέιζερ ημιαγωγών οπτικά το VCSEL για να το προκαλέσει στο lase. Το-ΕΠΊΠΕΔΟ λέιζερ ημιαγωγών σχεδιάζεται για να εκπέμψει τα φωτόνια των σχετικά σύντομων μηκών κύματος ενώ το VCSEL έχει ως σκοπό να εκπέμψει τα φωτόνια των σχετικά μακροχρόνιων μηκών κύματος. Το-ΕΠΊΠΕΔΟ λέιζερ ημιαγωγών και το VCSEL μπορούν να συνδεθούν μαζί με διάφορους τρόπους συμπεριλαμβανομένης της ατομικής σύνδεσης, σύνδεση γκοφρετών, σύνδεση μετάλλων, η εποξική κόλλα ή άλλη ξέρει καλά τις συνδέοντας τεχνικές ημιαγωγών. Το στοιχείο οδήγησης ακτίνων μπορεί να είναι ένα οπτικό κιγκλίδωμα ή μια αντανακλημένη επιφάνεια.
