A new class of materials testing apparatus has been invented. Particularly suited to the measurement of fracture and fatigue properties in the extremely strong materials encountered in microelectromechanical systems, material strains well in excess of 1% can be applied pseudostatically, dynamically, or repetitively by these testers. There are no other practical methods to determine these material properties routinely in a process environment, and few alternatives in any circumstances.

Eine neue Kategorie Materialprüfungapparat ist erfunden worden. Besonders entsprochen zum Maß der Bruch- und Ermüdungeigenschaften in den extrem starken Materialien, die in den microelectromechanical Systemen angetroffen werden, können materielle Belastungen gut über 1% durch diese Prüfvorrichtungen pseudostatically, dynamisch oder wiederholt angewendet werden. Es gibt keine anderen praktischen Methoden, zum dieser materiellen Eigenschaften in einem Prozeßklima routinemäßig festzustellen und wenige Alternativen unter allen möglichen Umständen.