A modulator that provides low insertion loss and wide bandwidth. The modulator has a single layer, quarter wave membrane that is suspended over a substrate. The membrane has a refractive index, n.sub.m, in a range of about 1.1n.sub.s.sup.0.5.ltoreq.n.sub.m.ltoreq.1.4n.sub.s.sup.0.5. When actuated, the membrane moves toward the substrate, altering the reflectivity of the modulator. In some embodiments, the substrate is germanium, which has a protective layer disposed thereon to protect it from etchant during MEMS fabrication procedures.

Un modulador que proporciona pérdida baja de la inserción y anchura de banda amplia. El modulador tiene una sola capa, la membrana de la onda del cuarto que se suspende sobre un substrato. La membrana tiene un índice de refracción, n.sub.m, en una gama alrededor de 1.1n.sub.s.sup.0.5.ltoreq.n.sub.m.ltoreq.1.4n.sub.s.sup.0.5. Cuando está actuada, la membrana se mueve hacia el substrato, alterando la reflectividad del modulador. En algunas encarnaciones, el substrato es el germanio, que tiene una capa protectora dispuesta sobre eso para protegerla contra etchant durante procedimientos de fabricación de MEMS.