The silencer 22 having an enclosed tank 23 includes an inlet port 24 positioned at one side of the tank 23, a discharge port 25 positioned at another side of the tank 23, and a partition plate 26 separating an inner space of the tank 23 into an inlet side chamber and an outlet side chamber. The partition plate 26 is formed with an orifice 27 communicating the separated chambers with each other. The partition plate 26 is also provided with a drain hole 28 communicating with both the chambers. The tank 23 is located at a position lower than the vacuum pump 12. A drain discharge line 33 may communicate with a lower portion of a casing of the vacuum pump 12. Furthermore, the tank may have a cooling water jacket 31 for cooling a wall of the tank 23.

El silenciador 22 que tiene un tanque incluido 23 incluye un puerto 24 de la entrada colocado en un lado del tanque 23, un puerto 25 de la descarga colocado en otro lado del tanque 23, y una placa 26 de la partición que separa un espacio interno del tanque 23 en un compartimiento del lado de la entrada y un compartimiento del lado de enchufe. La placa 26 de la partición se forma con un orificio 27 que comunica los compartimientos separados con uno a. La placa 26 de la partición también se proporciona un agujero de dren 28 que se comunica con ambos los compartimientos. El tanque 23 está situado en una posición más bajo que la bomba de vacío 12. Una línea de descarga del dren 33 puede comunicarse con una porción más baja de una cubierta de la bomba de vacío 12. Además, el tanque puede tener una chaqueta 31 del agua que se refresca para refrescar una pared del tanque 23.