A molecular fluorine (F.sub.2) laser is provided wherein the gas mixture comprises molecular fluorine for generating a spectral emission including two or three closely spaced lines around 157 nm. An etalon provides line selection such that the output beam only includes one of these lines. The etalon may also serve to outcouple the beam and/or narrow the selected line. Alternatively, a prism provides the line selection and the etalon narrows the selected line. The etalon may be a resonator reflector which also selects a line, while another element outcouples the beam. The etalon plates comprise a material that is substantially transparent at 157 nm, such as CaF.sub.2, MgF.sub.2, LiF.sub.2, BaF.sub.2, LiF, SrF.sub.2, quartz and fluorine doped quartz. The etalon plates are separated by spacers comprising a material having a low thermal expansion constant, such as invar, zerodur.RTM., ultra low expansion glass, and quartz. A beam expander is preferably provided before the etalon for expanding the beam before the beam is incident on the etalon. The beam expander is preferably configured to reduce the divergence of the beam.

Ένα μοριακό λέιζερ φθορίου (F.sub.2) παρέχεται όπου το αέριο μίγμα περιλαμβάνει το μοριακό φθόριο για να παραγάγει μια φασματική εκπομπή συμπεριλαμβανομένων δύο ή τριών πολύ χωρισμένων κατά διαστήματα γραμμών περίπου 157 NM. Ένα etalon παρέχει την επιλογή γραμμών έτσι ώστε η ακτίνα παραγωγής περιλαμβάνει μόνο μιας από αυτές τις γραμμές. Το etalon μπορεί επίσης να εξυπηρετήσει στο outcouple την ακτίνα ή/και να στενεψει την επιλεγμένη γραμμή. Εναλλακτικά, ένα πρίσμα παρέχει την επιλογή γραμμών και το etalon στενεύει την επιλεγμένη γραμμή. Το etalon μπορεί να είναι ένας ανακλαστήρας αντηχείων που επιλέγει επίσης μια γραμμή, ενώ ένα άλλο στοιχείο outcouples η ακτίνα. Τα πιάτα etalon περιλαμβάνουν ένα υλικό που είναι ουσιαστικά διαφανές σε 157 NM, όπως CaF.sub.2, MgF.sub.2, LiF.sub.2, BaF.sub.2, LiF, SrF.sub.2, ο χαλαζίας και ναρκωμένος ο φθόριο χαλαζίας. Τα πιάτα etalon χωρίζονται από τα πλήκτρα διαστήματος περιλαμβάνοντας ένα υλικό που έχει μια χαμηλή σταθερά θερμικής επέκτασης, όπως invar, zerodur. RTM., υπερβολικά χαμηλό γυαλί επέκτασης, και χαλαζίας. Ένας αποσυμπιεστής ακτίνων παρέχεται κατά προτίμηση πριν από το etalon για την επέκταση της ακτίνας προτού η ακτίνα να είσαι συναφής στο etalon. Ο αποσυμπιεστής ακτίνων διαμορφώνεται κατά προτίμηση για να μειώσει την απόκλιση της ακτίνας.