Fabry-Perot filters are disclosed. having micro-electro-mechanical systems (MEMS) parts operable for tuning of the filters. The filters of the present invention are particularly useful in WDM and DWDM optical communication systems for multiplexing and demultiplexing channels of electromagnetically-carried data traversing the system. The filter can be miniaturized by etching or photolithographing the filter on silicon wafers utilizing MEMS technology. A MEMS device fabricated on the wafer is operative for moving a variably positioned mirror to change the length of the cavity or etalon of the Fabry-Perot filter, thereby tuning the filter to multiplex or demultiplex the channels.

Показаны фильтры Fabry-Perot имеющ микро--елечтро-mexaniceski части систем (MEMS) действующие для настраивать фильтров. Фильтры присытствыющего вымысла определенно полезны в системы связи wdm и DWDM оптически для передавая по мултиплексу и demultiplexing каналов данных электромагнитн-snesennyx траверсируя систему. Фильтр может быть миниатюризирован путем вытравлять или photolithographing фильтр на вафлях кремния используя технологию MEMS. Приспособление MEMS изготовленное на вафле оперативно для двигать переменно расположенное зеркало для того чтобы изменить длину полости или etalon фильтра Fabry-Perot, таким образом настраивающ фильтр к системе мултиплекса или demultiplex каналы.