A sequence of MEMS processing steps are used to construct a 2D optical
switch on a single substrate. In a typical optical switch configuration,
an array of hinged micromirrors are supported by an array of posts at a
45.degree. angle to the input and output optical paths and positioned
parallel to the substrate either above, below or, perhaps, in the optical
paths. The application of a voltage between the mirror and its control
electrodes switches the mirror to a vertical position where it intercepts
and deflects light travelling down the optical paths. The posts are
suitably oriented at a 90.degree. angle with respect to the mirror hinges
so that they do not interfere with the optical paths and, may be
configured to function as baffles to reduce crosstalk between adjacent
optical paths.
Μια σειρά των βημάτων επεξεργασίας MEMS χρησιμοποιείται για να κατασκευάσει 2D οπτικός ανάβει ένα ενιαίο υπόστρωμα. Σε μια χαρακτηριστική οπτική διαμόρφωση διακοπτών, μια σειρά αρθρωμένων micromirrors υποστηρίζεται από μια σειρά θέσεων σε μια γωνία 45.degree. στις οπτικές πορείες εισαγωγής και παραγωγής και τον τοποθετημένο παράλληλο στο υπόστρωμα είτε ανωτέρω, κατωτέρω είτε, ίσως, στις οπτικές πορείες. Η εφαρμογή μιας τάσης μεταξύ του καθρέφτη και των ηλεκτροδίων ελέγχου της μεταστρέφει τον καθρέφτη σε μια κάθετη θέση όπου παρεμποδίζει και εκτρέπει το φως που ταξιδεύει κάτω από τις οπτικές πορείες. Οι θέσεις είναι κατάλληλα προσανατολισμένες σε μια γωνία 90.degree. όσον αφορά τις αρθρώσεις καθρεφτών έτσι ώστε δεν παρεμποδίζουν τις οπτικές πορείες και, μπορούν να διαμορφωθούν για να λειτουργήσουν ως διαφράγματα για να μειώσουν τη λογομαχία μεταξύ των παρακείμενων οπτικών πορειών.