Layout correction is accomplished using a forward mapping technique. Forward mapping refers to mapping of fragments from a reticle layout to a target layout, while backward mapping refers to mapping of fragments from the target layout to the reticle layout. Forward mapping provides a technique for making an unambiguous mapping for each reticle fragment to a corresponding target layout fragment. The mapping does not necessarily provide a one-to-one correspondence between reticle fragments and target layout fragments. That is, multiple reticle layout fragments can map to a single target layout fragment. An edge placement error for the target layout fragments is used to make positioning corrections for the corresponding reticle fragment(s). Edge placement error can be determined, for example, with a simulation process that simulates a manufacturing process using the reticles.

Plankorrektur wird mit einer Vorwärtsabbildentechnik vollendet. Das Vorwärtsdiagramm bezieht sich das auf Diagramm der Fragmente von einem Reticleplan zu einem Zielplan, beim rückwärts abbilden auf das Diagramm der Fragmente vom Zielplan zum Reticleplan sich bezieht. Das Vorwärtsdiagramm stellt eine Technik für das Bilden eines eindeutigen Diagramms für jedes Reticlefragment zu einem entsprechenden Zielplanfragment zur Verfügung. Das Diagramm nicht notwendigerweise liefert eine eins-zu-eins Korrespondenz zwischen Reticlefragmenten und Zielplanfragmenten. Das heißt, können mehrfache Reticleplanfragmente zu einem einzelnen Zielplanfragment abbilden. Eine Randplazierung Störung für die Zielplanfragmente wird verwendet, um die Positionierung der Korrekturen für das entsprechende Reticle fragment(s) zu bilden. Randplazierung Störung kann z.B. mit einem Simulation Prozeß festgestellt werden, der ein Herstellungsverfahren mit den Reticles simuliert.